檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "林紀穎".ccommittee (精準) and ckeyword.raw="強健控制"
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在自動控制領域中,對於一個符合可控條件的線性非時變系統,若要處理讓系統狀態回到原點之問題(regulation problem),最經典的設計方法即為極點配置法。其利用狀態回授的方式,將極點放置在任…
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隨著科技的不斷進步,晶圓的尺寸逐漸擴大,並且自動化光學檢測應用也蓬勃發展,這使得晶圓檢測平台的運動控制性面臨更多挑戰。晶圓檢測平台是一套精密複雜的系統,其主要功能是在檢測物體快速移動時,透過拍攝影像…